-
قطعات یدکی سرامیکی برای تجهیزات کاوشگر نیمه هادی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
حامل تجهیزات نیمه هادی صفحه سرامیکی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
قطعات یدکی سرامیک تجهیزات نیمه هادی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
حلقه آببندی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای آببندی محفظه در دمای بالا
حلقه آببندی سرامیکی St.Cera به عنوان جایگزینی برای حلقههای O پلیمری در محیطهای سخت که الاستومرها تخریب میشوند، طراحی شده است. این حلقه آببندی سفت و سخت که از 99.8٪ آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) ساخته شده است، در کاربردهای آببندی استاتیک - که معمولاً با یک واشر فلزی نرم یا گرافیتی جفت میشود - برای فراهم کردن خلاء یا مهار گاز قابل اعتماد در دماهای تا 800 درجه سانتیگراد و در محیطهای پلاسما یا شیمیایی تهاجمی استفاده میشود. این ماده بدون خروج گاز، مقاومت فشاری بالا (مقاومت خمشی اساسی 361 مگاپاسکال) و بیاثری شیمیایی (مقاوم در برابر هالوژنها، اسیدها و قلیاها به جز HF) را ارائه میدهد. سطوح آببندی دقیق (صاف بودن ≤5 میکرومتر، زبری سطح Ra ≤0.2 میکرومتر) تماس بدون نشت با اجزای فلزی یا سرامیکی جفت شده را تضمین میکند.
-
حلقه فوکوس محفظه آلومینای با خلوص بالا برای سیستمهای اچ پلاسما و CVD
حلقه فوکوس محفظه St.Cera یک جزء حیاتی کیت فرآیند است که در تجهیزات نیمههادی حکاکی پلاسما، CVD و PVD استفاده میشود. این حلقه که از 99.8٪ آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) ساخته شده است، لبه ویفر را احاطه میکند تا پلاسما را محدود کرده و توزیع زاویهای یون را بهینه کند و در نتیجه یکنواختی حکاکی را در سطح ویفر بهبود بخشد. این ماده مقاومت پلاسمایی استثنایی، استحکام دیالکتریک بالا (15×10⁶ V/m) و پایداری حرارتی تا 1600 درجه سانتیگراد را ارائه میدهد و قابلیت اطمینان طولانی مدت را در محیطهای پلاسمای تهاجمی مبتنی بر فلوئور یا کلر تضمین میکند. قطر داخلی/خارجی دقیق زمین شده و صافی (≤10 میکرومتر) امکان موقعیتیابی دقیق لبه ویفر را فراهم میکند و عیوب لبه و تولید ذرات را کاهش میدهد.
-
حلقه سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای محفظههای فرآیند CVD / PVD
حلقه سرامیکی St.Cera به طور خاص برای استفاده در محفظههای فرآیند CVD (رسوب شیمیایی بخار) و PVD (رسوب فیزیکی بخار) طراحی شده است. این حلقه که از آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) با ۹۹.۸٪ ساخته شده است، به عنوان آستر محفظه، حلقه فوکوس یا جزء کیت فرآیند برای محدود کردن پلاسما و محافظت از دیوارههای محفظه در برابر فرسایش عمل میکند. این ماده مقاومت عالی در برابر پلاسما، استحکام دیالکتریک بالا (۱۵×۱۰⁶ V/m) و پایداری حرارتی تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد را ارائه میدهد و عمر طولانی در محیطهای پلاسمای تهاجمی مبتنی بر فلوئور را تضمین میکند. تلرانسهای ابعادی دقیق (±۰.۰۵ میلیمتر در قطر داخلی/قطر خارجی) و مسطح بودن (≤۱۰ میکرومتر) امکان قرارگیری لبه ویفر ثابت، بهبود یکنواختی رسوب و کاهش تولید ذرات را فراهم میکند.
-
افکتور انتهایی سرامیکی برنولی - جابجایی ویفر بدون تماس برای ویفرهای نازک و شکننده
ابزار انتهایی سرامیکی برنولی St.Cera از نیروی بالابر آیرودینامیکی برای جابجایی ویفرها بدون تماس فیزیکی استفاده میکند. این ابزار که از آلومینای با خلوص بالای ۹۹.۸٪ (Al₂O₃) یا کاربید سیلیکون (SiC) ساخته شده است، دارای نازلهای ماشینکاری شده دقیقی است که گاز تحت فشار را خارج میکنند تا یک لایه نازک هوا بین ابزار انتهایی و ویفر ایجاد شود. این اصل عدم تماس، آلودگی پشتی، لبپریدگی لبهها و آسیب سطحی را از بین میبرد و آن را برای ویفرهای نازک (≤۱۰۰ میکرومتر)، شکننده یا تابدار ایدهآل میکند. زیرلایه سرامیکی، استحکام خمشی بالا (۳۶۱ مگاپاسکال برای Al₂O₃؛ تا ۵۵۰-۶۰۰ مگاپاسکال برای SiC)، جرم کم و پایداری ابعادی عالی را فراهم میکند و موقعیتیابی تکرارپذیر را در رباتهای انتقال ویفر با سرعت بالا تضمین میکند.
-
قطعات سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای کاربردهای نیمه هادی و صنعتی
شرکت St.Cera قطعات سرامیکی آلومینا (Al₂O₃) ماشینکاری شده با دقت بالا را مطابق با مشخصات مشتری تولید میکند. این قطعات با استفاده از 99.8٪ آلومینای با خلوص بالا، استحکام خمشی عالی (361 مگاپاسکال)، سختی بالا (16 گیگاپاسکال) و استحکام دیالکتریک برجسته (15×10⁶ ولت بر متر) را ارائه میدهند. این ماده که برای تجهیزات نیمههادی، مجموعههای مقاوم در برابر سایش، عایقهای الکتریکی و وسایل دما بالا طراحی شده است، جذب آب نزدیک به صفر (0٪) و ضریب انبساط حرارتی 7.2×10⁻⁶/℃ را ارائه میدهد که پایداری ابعادی را در شرایط سخت تضمین میکند.
-
سه نظام سرامیکی متخلخل برای جابجایی ویفر تابدار
سه نظام سرامیکی متخلخل St.Cera از آلومینای با خلوص بالا با تخلخل باز یکنواخت 30 تا 45 درصد و اندازه منافذ از 10 تا 100 میکرومتر ساخته شده است. برخلاف سه نظامهای شیاردار معمولی، سطح متخلخل این سه نظام، خلاء توزیعشدهای را در کل سطح پشتی ویفر ایجاد میکند و به طور مؤثر ویفرهای تابدار، نازک یا تکلایه را بدون بلند شدن لبه یا شکستگی نگه میدارد. خلاء ملایم (قابل تنظیم از طریق محدودکننده) همچنین از ایجاد خط و خش در سطح پشتی جلوگیری میکند.
-
سه نظام سرامیکی متخلخل بر پایه آلومینا برای جابجایی ویفرهای نازک
چاک متخلخل مبتنی بر آلومینای St.Cera از Al₂O₃ با خلوص بالای ۹۹.۶٪ با تخلخل باز کنترلشده ۳۰ تا ۴۵٪ و اندازه منافذ یکنواخت از ۱۰ تا ۵۰ میکرومتر ساخته شده است. برخلاف چاکهای شیاردار، سطح متخلخل، خلاء توزیعشدهای را در کل پشت ویفر ایجاد میکند، خط و خش لبه را از بین میبرد و امکان نگهداری ملایم ویفرهای فوقالعاده نازک (≤۱۰۰ میکرومتر) یا تابخورده را فراهم میکند. این ماده استحکام خمشی ≥۲۵۰ مگاپاسکال و پایداری حرارتی تا ۴۰۰ درجه سانتیگراد در هوا را ارائه میدهد.
-
صفحه توزیع گاز آلومینا برای سردوش CVD/PVD
صفحه توزیع گاز (دوش حمام) شرکت St.Cera با دقت از سرامیک آلومینای ۹۹.۸٪ با خلوص بالا ساخته شده است. این صفحه دارای آرایهای از میکروسوراخها (با قطر ۰.۳ تا ۱.۵ میلیمتر) است که جریان یکنواخت گاز را در سطح ویفر در طول فرآیندهای CVD، PVD یا ALD تضمین میکند. مقاومت دیالکتریک بالای این صفحه (بیش از ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر) و مقاومت پلاسما، آن را برای رسوب لایه نازک نیمههادی ضروری میکند.
-
پین نگهدارنده سرامیکی برای فیکسچرهای فرآیند نیمه هادی
پینهای نگهدارنده سرامیکی St.Cera (که با نام پینهای بالابر یا پینهای نگهدارنده نیز شناخته میشوند) در محفظههای فرآیند نیمههادی برای بالا بردن ویفرها یا زیرلایهها در حین جابجایی، گرم کردن یا خنک کردن استفاده میشوند. این پینها که از 99.8٪ آلومینا یا نیترید سیلیکون ساخته شدهاند، مقاومت فشاری، پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی بالایی دارند. طراحی نوک نیمکروی یا تخت آنها از خراشیدن ویفر جلوگیری میکند.
