سه نظام سرامیکی متخلخل بر پایه آلومینا برای جابجایی ویفرهای نازک
چاک متخلخل مبتنی بر آلومینای St.Cera از Al₂O₃ با خلوص بالای ۹۹.۶٪ با تخلخل باز کنترلشده ۳۰ تا ۴۵٪ و اندازه منافذ یکنواخت از ۱۰ تا ۵۰ میکرومتر ساخته شده است. برخلاف چاکهای شیاردار، سطح متخلخل، خلاء توزیعشدهای را در کل پشت ویفر ایجاد میکند، خط و خش لبه را از بین میبرد و امکان نگهداری ملایم ویفرهای فوقالعاده نازک (≤۱۰۰ میکرومتر) یا تابخورده را فراهم میکند. این ماده استحکام خمشی ≥۲۵۰ مگاپاسکال و پایداری حرارتی تا ۴۰۰ درجه سانتیگراد در هوا را ارائه میدهد.
مشخصات(بر اساس ۹۹.۶٪ آلومینیوم)₂O₃):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۶٪ آلومینا (سفید) |
| تخلخل | ۳۰–۴۵٪ (قابل تنظیم) |
| میانگین اندازه منافذ | ۱۰–۵۰ میکرومتر |
| استحکام خمشی | ≥250 مگاپاسکال |
| تراکم | ۳.۸۸ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| صافی (بیش از 200 میلیمتر) | ≤5 میکرومتر |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۴۰۰ درجه سانتیگراد (هوا) |
| پرداخت سطح | همپوشانی (Ra ≤0.8 میکرومتر) |
کاربردها:
- سنگ زنی از پشت ویفر نازک (≤50 میکرومتر)
- · نصب ویفر تابدار برای خرد کردن
- · جمع آوری قالب تکی
- · جابجایی زیرلایه شیشهای
تولید:
پودر مخلوط شده با منافذ سازها → پرس ایزواستاتیک → تف جوشی در دمای 1600 درجه سانتیگراد → صیقل کاری تا رسیدن به ضخامت نهایی. هر سه نظام از نظر یکنواختی در خلاء (انحراف فشار کمتر از 5٪) تحت آزمایش جریان قرار گرفته و از نظر توزیع اندازه منافذ (SEM) بررسی میشود.
مزایا نسبت به جکهای معمولی:
- · بدون علامتگذاری پشت ویفر یا جابجایی قالب
- · ویفرهایی با قوس تا 500 میکرومتر را نگه میدارد
- · سطح خود تمیز شونده (منافذ در برابر گرفتگی مقاوم هستند)
- · پشتیبانی یکنواخت، استرس موضعی را از بین میبرد
Cشخصیسازی:
اشکال گرد یا مربع، قطر ۱۰۰ تا ۴۵۰ میلیمتر. حلقه آببندی لبه برای کنترل خلاء منطقهای موجود است.
برای اندازه ویفر خاص خود، نمونه درخواست کنید.
