افکتور انتهایی سرامیکی با روکش تفلون - سطح نچسب برای جابجایی ویفرهای حساس
ابزار انتهایی سرامیکی با پوشش تفلون (PTFE) شرکت St.Cera، یک زیرلایه آلومینا با استحکام بالا را با یک پوشش PTFE یکنواخت و کم اصطکاک (ضخامت 15 تا 30 میکرومتر) ترکیب میکند. این پوشش ضریب اصطکاک بسیار پایین (≤0.1)، مقاومت شیمیایی عالی و خواص نچسبی را فراهم میکند که از چسبندگی ویفر جلوگیری کرده و آلودگی پشت آن را از بین میبرد. زیرلایه سرامیکی زیرین (99.8٪ Al₂O₃) استحکام خمشی بالا (361 تا 1000 مگاپاسکال)، مقاومت در برابر سایش و پایداری حرارتی تا 260 درجه سانتیگراد (حد پوشش) را ارائه میدهد. این ابزار انتهایی برای کار با ویفرهای ظریف، نازک یا چسبنده (مثلاً پس از پوشش فتورزیست یا فرآیندهای شیمیایی) ایدهآل است.
مشخصات (بر اساس زیرلایه ۹۹.۸٪ Al₂O₃ با پوشش PTFE):
| ملک | ارزش |
| مواد بستر | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| مواد پوشش | PTFE (تفلون) |
| ضخامت پوشش | ۱۵ تا ۳۰ میکرومتر |
| ضریب اصطکاک (پوشش داده شده) | ≤0.1 |
| استحکام خمشی زیرلایه (Al₂O₃) | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی زیرلایه (Al₂O₃) | ۱۶ گیگا پاسکال |
| تراکم بستر | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| حداکثر دمای عملیاتی (حد پوشش) | ۲۶۰ درجه سانتیگراد |
| زبری سطح (قبل از پوشش) | Ra ≤0.4 میکرومتر |
| مقاومت دی الکتریک (زیرلایه) | ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر |
توجه: پوشش PTFE حداکثر دما را به 260 درجه سانتیگراد محدود میکند؛ برای کاربردهای دمای بالاتر، سرامیک بدون پوشش یا سایر پوششها را در نظر بگیرید.
کاربردها:
- · جابجایی ویفرها پس از پوشش فتورزیست (سطوح چسبنده)
- · انتقال ویفرهای نازک یا شکننده (جلوگیری از چسبیدن)
- · ابزارهای بازرسی و مترولوژی نیمههادی
- · اتوماسیون اتاق تمیز که در آن آلودگی ذرات باید به حداقل برسد
فرآیند تولید:
زیرلایه سرامیکی تفجوشی شده و سنگزنی دقیق → زبر کردن سطح (حکاکی پلاسما یا سندبلاست) → پوشش اسپری PTFE → پخت حرارتی در دمای ۳۸۰ درجه سانتیگراد → بازرسی نهایی. هر عامل نهایی از نظر ضخامت پوشش (جریان گردابی)، چسبندگی (آزمایش برش عرضی ASTM D3359) و ضریب اصطکاک بررسی میشود.
کنترل کیفیت:
بازرسی چشمی ۱۰۰٪ برای سوراخهای ریز یا حباب؛ یکنواختی ضخامت پوشش در محدوده ±۵ میکرومتر؛ عدم لایهلایه شدن پس از آزمایش خمش ۹۰ درجه روی نمونه شاهد. بررسی ابعادی مطابق با تلرانس OEM (طول ±۰.۰۵ میلیمتر، صافی ≤۰.۱ میلیمتر).
مزایای آن نسبت به پوششهای بدون پوشش یا سایر پوششها:
- · سطح نچسب از چسبندگی و شکستگی ویفر جلوگیری میکند
- کمترین ضریب اصطکاک در بین پوششهای سرامیکی
- · مقاومت شیمیایی عالی (اسیدها، بازها، حلالها)
- · با جلوگیری از انتقال مواد، تولید ذرات را کاهش میدهد
محدودیتها (ملاحظات مربوط به انحرافات اساسی):
پوشش PTFE از جداول خواص مواد ارائه شده (Al₂O₃، ZrO₂، Si₃N₄، BeO) استخراج نشده است. خواص زیرلایه کاملاً از برگه اطلاعات ارائه شده (99.8٪ Al₂O₃) پیروی میکند. خواص پوشش بر اساس مشخصات استاندارد صنعتی PTFE است، زیرا هیچ دادهای از پوشش ارائه نشده است. برای کاربردهایی با دمای بیش از 260 درجه سانتیگراد، یک اند افکتور سرامیکی بدون پوشش توصیه میشود.*
سفارشی سازی:
در طولهای ۱۵۰ تا ۱۵۰۰ میلیمتر، اشکال نوک (لبه گیر، برنولی، تخت)، الگوهای فلنج نصب طبق نقشه OEM موجود است. پوشش جزئی (فقط نواحی تماس) یا پوشش کامل اختیاری است.
درخواست نمونه برای آزمایش چسبندگی و اصطکاک.
