-
افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای رباتهای جابجایی ویفر
ابزار انتهایی سرامیکی آلومینای St.Cera با استفاده از تجهیزات سنگزنی پیشرفته 5 محوره CNC، از Al₂O₃ با خلوص بالای 99.8٪ به دقت ماشینکاری شده است. قابلیتهای تولیدی ما شامل ماشینهای سنگزنی دقیق و مراکز ماشینکاری CNC است که امکان ایجاد هندسههای پیچیده با دقت بالا را فراهم میکند. ابزار انتهایی دارای پروفیل نازک (به نازکی 1.5 میلیمتر) با لبه جلویی مخروطی برای قرار دادن روان ویفر است. این ماده سختی بالا (مدول یانگ 380 گیگا پاسکال)، مقاومت در برابر سایش عالی و پایداری حرارتی تا 800 درجه سانتیگراد را فراهم میکند. هر واحد با دقت سنگزنی شده است تا به صافی 0.003 میلیمتر، توازی 0.002 میلیمتر و پرداخت سطح Ra0.1 دست یابد که تماس مداوم با ویفر و عملکرد بدون ذرات را در محیطهای نیمههادی FAB تضمین میکند. در طولهای 150 میلیمتر تا 450 میلیمتر، با هندسههای نوک سفارشی (لبه گیر، برنولی، تخت) و فلنجهای نصب برای تناسب با رباتهای OEM موجود است. گزینههای پرداخت سطح شامل روکش صیقلی، صیقلی یا پوشش اتلافی ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq) است.
-
افکتور انتهایی برنولی سرامیکی آلومینای سفارشی ST.CERA
ما به عنوان تولیدکننده پیشرو در زمینهی بازوی اجرایی/جابجایی سرامیکی، یک بازوی اجرایی/جابجایی غیرمتعارف را توسعه دادهایم که به نیازهای آن بازار پاسخ میدهد. بازوی اجرایی/جابجایی سرامیکی مبتنی بر اصل برنولی که میتواند ویفر را از طریق جریان هوا با حداقل تماس محیطی، شناور و منتقل کند.
-
افکتور سرامیکی ESD سفارشی ST.CERA
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
-
گیره انتهایی سرامیکی آلومینا سفارشی ST.CERA
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
-
سینی سرامیکی آلومینا سفارشی ST.CERA
این یک بازوی انتهایی/جابجایی سرامیکی سینیدار است که تحت شرایط خلاء استفاده میشود.
بازوی انتهایی سرامیکی / بازوی هندلینگ در مقایسه با نمونههای فلزی، «مقاومتر در برابر حرارت»، «انحراف کمتر» و «سبکتر» است.
-
افکتور انتهایی خلاء سرامیکی آلومینا سفارشی ST.CERA
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
-
افکتور سرامیکی آلومینای سفارشی ST.CERA
ST.CERA پوشش ESD و ماده سرامیکی ESD End Effector را ارائه میدهد. این پوشش از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده و با پرس ایزواستاتیک سرد، تف جوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است. این پوشش میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، سطح نهایی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
افکتور انتهایی خلاء سرامیکی آلومینا سفارشی ST.CERA
این یک بازوی انتهایی/جابجایی سرامیکی سینیدار است که تحت شرایط خلاء استفاده میشود.
بازوی انتهایی سرامیکی / بازوی هندلینگ در مقایسه با نمونههای فلزی، «مقاومتر در برابر حرارت»، «انحراف کمتر» و «سبکتر» است.
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
جابجایی ویفر سرامیکی آلومینای سفارشی ST.CERA با افکتور انتهایی
ST.CERA پوشش ESD و بازوی انتهایی/جابجایی از جنس سرامیک ESD را با یک کانال توخالی داخلی ارائه میدهد. ما در تکنیکی تخصص داریم که بدون استفاده از چسب، یک کانال هوای خلاء درون یک قطعه از ماده تشکیل میدهد.
هیچ خطری از نظر آلودگی، خروج گاز یا ذرات وجود ندارد. بازوی انتهایی/جابجایی جاروبرقی ST.CERA با فناوری پوشش ویژه، عایق الکتریکی است. ما همچنین میتوانیم مواد سرامیکی ESD را که بدون هیچ پوششی عایق الکتریکی است، ارائه دهیم.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد. -
اجزای تجهیزات نیمه هادی افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا
از ایجاد ذراتی که میتوانند از لبههای مورب یا زاویهدار و سطح پشتی در حین حمل ویفرها یا در تماس با End Effector/Handling Arm ایجاد شوند، جلوگیری کنید.
برای راهنماها، از مادهای نرم استفاده شد که به ویفر آسیب نمیرساند.
نازک شدن با فناوری کانال خلاء داخلی ST.CERA که از چسب استفاده نمیکند، امکانپذیر است.
امکان ایجاد سوراخهای نصب و تغییر طول و عرض پایهای که End Effector / Handling Arm روی ربات نصب میشود.
نصب سنسورها، پیچها و براکتها به عنوان یک گزینه اختیاری در دسترس است.
برای استفاده در اتمسفر طراحی شده است.
-
ماشینکاری CNC سفارشی افکتور انتهایی سرامیکی St.Cera
ST.CERA یک بازوی اجرایی انتهایی/جابجایی سرامیکی خلاء با یک کانال توخالی داخلی ارائه میدهد. ما در تکنیکی تخصص داریم که بدون استفاده از چسب، یک کانال هوای خلاء درون یک قطعه از ماده تشکیل میدهد.
هیچ خطری از نظر آلودگی، خروج گاز یا ذرات وجود ندارد. بازوی انتهایی/جابجایی وکیوم ST.CERA با کانال داخلی بادوام است و میتواند در دماهای بالا مورد استفاده قرار گیرد. علاوه بر این، با حذف مونتاژهای غیرضروری، هزینه تولید ما میتواند کاهش یابد.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
سرامیک آلومینا آنتی استاتیک
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
