-
بازوی رباتیک سرامیکی آلومینای با خلوص بالا برای جابجایی ویفر
بازوی رباتیک سرامیکی آلومینای St.Cera با دقت از Al₂O₃ (آلومینا) با خلوص ۹۹.۸٪ ساخته شده است. این بازو ترکیبی از استحکام خمشی استثنایی (۳۶۱ مگاپاسکال)، سختی بالا (۱۶ گیگاپاسکال) و چگالی کم (۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب) است که منجر به یک بازوی سبک اما سفت و سخت برای انتقال ویفر نیمههادی میشود. ضریب انبساط حرارتی این ماده (۷.۲×۱۰⁻⁶/°C) با سیلیکون مطابقت نزدیکی دارد و عدم تطابق حرارتی را در طول پردازش به حداقل میرساند.
-
افکتور انتهایی سرامیکی برنولی - جابجایی ویفر بدون تماس برای ویفرهای نازک و شکننده
ابزار انتهایی سرامیکی برنولی St.Cera از نیروی بالابر آیرودینامیکی برای جابجایی ویفرها بدون تماس فیزیکی استفاده میکند. این ابزار که از آلومینای با خلوص بالای ۹۹.۸٪ (Al₂O₃) یا کاربید سیلیکون (SiC) ساخته شده است، دارای نازلهای ماشینکاری شده دقیقی است که گاز تحت فشار را خارج میکنند تا یک لایه نازک هوا بین ابزار انتهایی و ویفر ایجاد شود. این اصل عدم تماس، آلودگی پشتی، لبپریدگی لبهها و آسیب سطحی را از بین میبرد و آن را برای ویفرهای نازک (≤۱۰۰ میکرومتر)، شکننده یا تابدار ایدهآل میکند. زیرلایه سرامیکی، استحکام خمشی بالا (۳۶۱ مگاپاسکال برای Al₂O₃؛ تا ۵۵۰-۶۰۰ مگاپاسکال برای SiC)، جرم کم و پایداری ابعادی عالی را فراهم میکند و موقعیتیابی تکرارپذیر را در رباتهای انتقال ویفر با سرعت بالا تضمین میکند.
-
افکتور انتهایی سرامیکی با روکش تفلون - سطح نچسب برای جابجایی ویفرهای حساس
ابزار انتهایی سرامیکی با پوشش تفلون (PTFE) شرکت St.Cera، یک زیرلایه آلومینا با استحکام بالا را با یک پوشش PTFE یکنواخت و کم اصطکاک (ضخامت 15 تا 30 میکرومتر) ترکیب میکند. این پوشش ضریب اصطکاک بسیار پایین (≤0.1)، مقاومت شیمیایی عالی و خواص نچسبی را فراهم میکند که از چسبندگی ویفر جلوگیری کرده و آلودگی پشت آن را از بین میبرد. زیرلایه سرامیکی زیرین (99.8٪ Al₂O₃) استحکام خمشی بالا (361 تا 1000 مگاپاسکال)، مقاومت در برابر سایش و پایداری حرارتی تا 260 درجه سانتیگراد (حد پوشش) را ارائه میدهد. این ابزار انتهایی برای کار با ویفرهای ظریف، نازک یا چسبنده (مثلاً پس از پوشش فتورزیست یا فرآیندهای شیمیایی) ایدهآل است.
