بازوی رباتیک سرامیکی آلومینای با خلوص بالا برای جابجایی ویفر
بازوی رباتیک سرامیکی آلومینای St.Cera با دقت از Al₂O₃ (آلومینا) با خلوص ۹۹.۸٪ ساخته شده است. این بازو ترکیبی از استحکام خمشی استثنایی (۳۶۱ مگاپاسکال)، سختی بالا (۱۶ گیگاپاسکال) و چگالی کم (۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب) است که منجر به یک بازوی سبک اما سفت و سخت برای انتقال ویفر نیمههادی میشود. ضریب انبساط حرارتی این ماده (۷.۲×۱۰⁻⁶/°C) با سیلیکون مطابقت نزدیکی دارد و عدم تطابق حرارتی را در طول پردازش به حداقل میرساند.
مشخصات (بر اساس ۹۹.۸٪ Al₂O₃):
| ملک | ارزش |
| رنگ | عاج |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| مدول یانگ | ۳۸۰ گیگا پاسکال |
| رسانایی حرارتی | ۳۲ وات بر متر مکعب بر کیلومتر |
| انبساط حرارتی | ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ |
| مقاومت دی الکتریک | ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر |
کاربردها:
- رباتهای انتقال ویفر تحت خلاء (200 میلیمتر/300 میلیمتر)
- سیستمهای کنترل اتمسفریک
- بازوهای مؤثر انتهایی برای اتوماسیون FAB
فرآیند تولید:
پرس ایزواستاتیک → ماشینکاری سبز → تفجوشی در دمای ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد → سنگزنی دقیق CNC → تمیزکاری اولتراسونیک → بستهبندی اتاق تمیز کلاس ۱۰۰. هر بازو ۱۰۰٪ توسط CMM از نظر صافی (±۰.۰۱ میلیمتر) و زبری سطح (Ra ≤۰.۴ میکرومتر) بازرسی میشود.
کنترل کیفیت:
شرکت St.Cera دارای گواهینامه ISO 9001:2015 است. ما تست نفوذ رنگ برای میکروترکها، خمش سه نقطهای برای مقاومت خمشی و تست مقاومت دیالکتریک را طبق استاندارد ASTM D149 انجام میدهیم.
مزایا نسبت به بازوهای فلزی:
- 50٪ سبکتر از فولاد ضد زنگ
- بدون خوردگی گالوانیک
- تولید ذرات کمتر (≤0.05 ذره در سانتیمتر مربع)
- پوشش ایمن در برابر ESD موجود است (10⁶–10⁹ Ω/sq)
سفارشی سازی:
طول از ۱۵۰ میلیمتر تا ۴۵۰ میلیمتر، شکل نوک (لبه گیر، برنولی، وکیوم) و الگوهای فلنج نصب طبق نقشههای OEM. نمونههای اولیه در ۲ هفته.
برای سفارشهای عمده، لطفاً درخواست قیمت دهید.
