افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای ربات‌های جابجایی ویفر

ابزار انتهایی سرامیکی آلومینای St.Cera با استفاده از تجهیزات سنگ‌زنی پیشرفته 5 محوره CNC، از Al₂O₃ با خلوص بالای 99.8٪ به دقت ماشینکاری شده است. قابلیت‌های تولیدی ما شامل ماشین‌های سنگ‌زنی دقیق و مراکز ماشینکاری CNC است که امکان ایجاد هندسه‌های پیچیده با دقت بالا را فراهم می‌کند. ابزار انتهایی دارای پروفیل نازک (به نازکی 1.5 میلی‌متر) با لبه جلویی مخروطی برای قرار دادن روان ویفر است. این ماده سختی بالا (مدول یانگ 380 گیگا پاسکال)، مقاومت در برابر سایش عالی و پایداری حرارتی تا 800 درجه سانتیگراد را فراهم می‌کند. هر واحد به دقت سنگ‌زنی شده است تا به صافی 0.003 میلی‌متر، توازی 0.002 میلی‌متر و پرداخت سطح Ra0.1 دست یابد که تماس مداوم با ویفر و عملکرد بدون ذرات را در محیط‌های نیمه‌هادی FAB تضمین می‌کند. در طول‌های 150 میلی‌متر تا 450 میلی‌متر، با هندسه‌های نوک سفارشی (لبه گیر، برنولی، تخت) و فلنج‌های نصب برای تناسب با ربات‌های OEM موجود است. گزینه‌های پرداخت سطح شامل روکش صیقلی، صیقلی یا پوشش اتلافی ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq) است.

مشخصات (بر اساس 99.8٪ آلومینیوم)₂O₃و قابلیت‌های تولیدی St.Cera):

کاربردها:

• · انتقال ویفر در ربات‌های خلأ و اتمسفری
• · افکتورهای انتهایی اتوماسیون FAB برای ویفرهای 200/300 میلی‌متری
• · جابجایی ویفر نازک (با گزینه ESD)

قابلیت‌های تولیدی:
ماشین‌های سنگ‌زنی دقیق و مراکز ماشینکاری CNC ما، تولید قطعات سرامیکی پیچیده را با موارد زیر امکان‌پذیر می‌کنند:

• · حداکثر طول ماشینکاری: 1500 میلی‌متر
• · حداکثر قطر خارجی: 600 میلی‌متر
• · حداقل قطر داخلی: 0.2 میلی‌متر
• · حداکثر ضخامت: ۱۰۰ میلی‌متر

کنترل کیفیت:
صافی 0.005 میلی‌متر، عمود بودن 0.005 میلی‌متر، گردی 0.002 میلی‌متر، توازی 0.002 میلی‌متر، متحدالمرکز بودن 0.01 میلی‌متر توسط CMM تأیید شده است. هر واحد به صورت اولتراسونیک تمیز شده و در بسته‌بندی اتاق تمیز کلاس 100 قرار گرفته است.