سه نظام وکیوم آلومینا برای خرد کردن و سنگ زنی دقیق
سه نظام خلاء آلومینای St.Cera از Al₂O₃ با خلوص بالای ۹۹.۸٪ و شیارهای خلاء ماشینکاری شده با دقت بالا ساخته شده است. قابلیت سنگ زنی دقیق ما به صافی ۰.۰۰۳ میلیمتر و توازی ۰.۰۰۲ میلیمتر دست مییابد که تثبیت بدون تاب ویفر را در حین خرد کردن، سنگ زنی پشتی و بازرسی تضمین میکند. این ماده استحکام خمشی بالا (۳۶۱ مگاپاسکال)، سختی (۱۶ گیگاپاسکال) و پایداری حرارتی تا ۸۰۰ درجه سانتیگراد را ارائه میدهد. در قالبهای گرد تا قطر خارجی (OD) ۶۰۰ میلیمتر و اشکال مستطیلی تا طول ۱۵۰۰ میلیمتر موجود است. شیارهای خلاء به صورت سفارشی (الگوهای متحدالمرکز، شعاعی یا شبکهای) برای مطابقت با نیازهای خاص فرآیند طراحی میشوند. هر سه نظام با تداخل سنج لیزری بازرسی شده و گزارش تأیید صافی ارائه میشود.
مشخصات (بر اساس 99.8٪ آلومینیوم)₂O₃و قابلیتهای تولیدی St.Cera):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| قطر بیرونی (حداکثر) | ۶۰۰ میلیمتر |
| ضخامت (حداکثر) | ۱۰۰ میلیمتر |
| طول (حداکثر) | ۱۵۰۰ میلیمتر |
| صافی | 0.003 میلیمتر |
| موازیسازی | 0.002 میلیمتر |
| پرداخت سطح | Ra0.1 |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۸۰۰ درجه سانتیگراد |
کاربردها:
- · برش و حکاکی ویفر (200/300 میلیمتر و بزرگتر)
- · سنگ زنی پشتی ویفرهای نازک
- · بازرسی و کاوش نوری
- · جابجایی بسترهای بزرگ
دقت تولید:
- · صافی: 0.005 میلیمتر
- · عمود بودن: 0.005 میلیمتر
- · گردی: 0.002 میلیمتر
- · تمرکز: 0.01 میلیمتر
