صفحه توزیع گاز آلومینا برای سردوش CVD/PVD
صفحه توزیع گاز (دوش حمام) شرکت St.Cera با دقت از سرامیک آلومینای ۹۹.۸٪ با خلوص بالا ساخته شده است. این صفحه دارای آرایهای از میکروسوراخها (با قطر ۰.۳ تا ۱.۵ میلیمتر) است که جریان یکنواخت گاز را در سطح ویفر در طول فرآیندهای CVD، PVD یا ALD تضمین میکند. مقاومت دیالکتریک بالای این صفحه (بیش از ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر) و مقاومت پلاسما، آن را برای رسوب لایه نازک نیمههادی ضروری میکند.
مشخصات:
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ Al₂O₃ یا SiC |
| قطر | ۱۰۰ تا ۱۵۰۰ میلیمتر (گرد) یا مستطیلی |
| ضخامت | ۵ تا ۲۰ میلیمتر |
| قطر سوراخ | ۰.۳ تا ۱.۵ میلیمتر |
| الگوی سوراخ | سفارشی (مثلثی، مربعی، شعاعی) |
| صافی | ≤10 میکرومتر در کل مساحت |
| زبری سطح | Ra ≤0.6 میکرومتر (سمت گاز) |
| نسبت فضای باز | ۵–۱۵٪ |
کاربردها:
صفحات سردوش PECVD
انژکتورهای گاز ALD
صفحات توزیع گاز محفظه اچ
اجزای راکتور MOCVD
تولید:
زیرلایه آلومینا به صورت مسطح صیقل داده شده → سوراخکاری CNC با ابزارهای روکش الماس (تحمل موقعیت سوراخ ±0.02 میلیمتر) → پلیسهگیری → تمیزکاری اولتراسونیک → بستهبندی کلاس 100.
کنترل کیفیت:
هر صفحه ۱۰۰٪ از نظر اندازه سوراخ (سیستم بینایی)، مسطح بودن (تداخلسنج لیزری) و یکنواختی جریان گاز (نقشهبرداری فشار) بررسی میشود. هیچ ترک ریز زیر میکروسکوپ ۲۰ برابر مشاهده نمیشود.
مزایا نسبت به صفحات فلزی:
عدم وجود آلودگی فلزی در لایههای نازک
تولید ذرات کمتر (بدون پوستههای خوردگی)
در برابر پلاسماهای تمیزکننده قوی (CF₄، NF₃) مقاومت میکند.
ویژگیهای سفارشی:
کانالهای گاز پشتی، سوراخهای سوراخکاری شده در جهت مخالف، آببندی لبهها و گریدهای مختلف مواد (SiC برای رسانایی حرارتی بالاتر، پوشش Y₂O₃ برای مقاومت در برابر پلاسما).
ما قبل از تولید، تأیید CAD و شبیهسازی جریان را ارائه میدهیم.
