پین نگهدارنده سرامیکی برای فیکسچرهای فرآیند نیمه هادی
پینهای نگهدارنده سرامیکی St.Cera (که با نام پینهای بالابر یا پینهای نگهدارنده نیز شناخته میشوند) در محفظههای فرآیند نیمههادی برای بالا بردن ویفرها یا زیرلایهها در حین جابجایی، گرم کردن یا خنک کردن استفاده میشوند. این پینها که از 99.8٪ آلومینا یا نیترید سیلیکون ساخته شدهاند، مقاومت فشاری، پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی بالایی دارند. طراحی نوک نیمکروی یا تخت آنها از خراشیدن ویفر جلوگیری میکند.
مشخصات(آلومینا ۹۹.۸٪):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ Al₂O₃ یا Si₃N₄ |
| طول | ۱۰ تا ۱۰۰ میلیمتر |
| قطر | ۱ تا ۱۰ میلیمتر |
| شکل نوک | تخت، نیمکره، نوکتیز |
| مقاومت فشاری (Al₂O₃) | >2000 مگاپاسکال |
| حداکثر دمای عملیاتی (Al₂O₃) | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد |
| پرداخت سطح | همپوشانی (Ra ≤0.4 میکرومتر) |
| تلرانس قطر | ±0.01 میلیمتر |
کاربردها:
پینهای بالابر در محفظههای CVD/PVD
پینهای نگهدارنده برای پخت روی صفحه داغ
سازههای نگهدارنده کارت پروب
پایههای قایق کوره کوارتز
تولید:
سنگزنی دقیق بدون مرکز قطر خارجی → سنگزنی الماسه پروفیل نوک → تمیزکاری اولتراسونیک → بازرسی ابعادی ۱۰۰٪.
کنترل کیفیت:
CMM برای طول/قطر، مقایسهگر نوری برای شعاع نوک، آزمایش بارگذاری برای تأیید مقاومت فشاری (نمونه تصادفی در هر لات). بدون آلودگی فرومغناطیسی (تأیید شده با آهنربا).
مزایای پینهای فلزی یا کوارتز:
5 برابر طول عمر بیشتر نسبت به فولاد ضد زنگ
عدم وجود آلودگی فلزی در محفظه فرآیند
قابلیت تحمل دمای بالاتر نسبت به کوارتز (۱۶۰۰ درجه سانتیگراد در مقابل ۱۱۰۰ درجه سانتیگراد)
سطح نچسب (کاهش چسبندگی ذرات)
سفارشی سازی:
پروفیلهای نوک چندگانه، پایه رزوهدار یا شفت مخروطی.
ما همچنین پینهای SiC را برای محیطهای پلاسمای شدید عرضه میکنیم.
