-
قطعات سرامیکی حلقه سرامیکی با دقت بالا آلومینا
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
تجهیزات نیمه هادی سفارشی ST.CERA کارتریج های سرامیکی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
افکتور انتهایی سرامیکی سیلیکون کاربید (SiC) - استحکام بالا برای کار با ویفر در دمای بالا
سرند افکتور سرامیکی SiC شرکت St.Cera از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (محتوای SiC 99.72٪، Si آزاد 0.05٪) با استفاده از ماده اولیه S1111 ساخته شده است. این سرند خواص مکانیکی استثنایی از جمله استحکام خمشی 449 مگاپاسکال (اندازهگیری شده)، مدول الاستیک 457 گیگاپاسکال (اندازهگیری شده) و سختی ویکرز 25 تا 28 گیگاپاسکال (معمولی) را ارائه میدهد. چگالی کم (3.10 تا 3.15 گرم بر سانتیمتر مکعب، معمول) سختی ویژه بالایی را فراهم میکند که برای رباتهای انتقال ویفر با سرعت بالا ایدهآل است. این سرند افکتور با رسانایی حرارتی 120 تا 150 وات بر متر مکعب (معمولی) و ضریب انبساط حرارتی 4.0 تا 4.5×10⁻⁶/℃ (معمولی)، به طور موثری گرما را دفع کرده و پایداری ابعادی را در حین کار با دمای بالا (تا 1600 تا 1700 درجه سانتیگراد، بدون بار) حفظ میکند. رنگ مشکی/خاکستری و جذب آب صفر، سازگاری با اتاق تمیز را تضمین میکند.
-
سه نظام خلاء بر پایه کاربید سیلیکون (SiC) برای محیطهای با دمای بالا و پلاسما
سه نظام سرامیکی مبتنی بر SiC شرکت St.Cera از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (دسته S1111، SiC 99.72٪، Si آزاد 0.05٪) ساخته شده است. این سه نظام، استحکام خمشی اندازهگیری شده 449 مگاپاسکال، چقرمگی شکست 3.12 مگاپاسکال بر متر مربع و مدول الاستیک 457 گیگاپاسکال را ارائه میدهد. رسانایی حرارتی معمول این ماده (120-150 W/m.K) و انبساط حرارتی کم (4.0-4.5×10⁻⁶/℃) امکان افزایش سریع دما و حداقل تاب برداشتن ویفر را در طول چرخه حرارتی فراهم میکند. سه نظام را میتوان به صورت یک سه نظام خلاء متخلخل (جریان گاز یکنواخت) یا یک سه نظام استاندارد شیاردار پیکربندی کرد. با حداکثر دمای استفاده ۱۶۰۰-۱۷۰۰ درجه سانتیگراد (بدون بار) و مقاومت استثنایی در برابر فرسایش پلاسما، این سه نظام برای پردازش ویفر در دمای بالا (آنیل، RTP) و محفظههای حکاکی تهاجمی که سه نظامهای آلومینا در آنها تخریب میشوند، ایدهآل است.
-
تجهیزات نیمه هادی قطعات یدکی سرامیک حامل های سرامیکی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
حلقه سنگزنی سرامیکی آلومینا با پشت فلزی برای کاربردهای لپینگ با استحکام بالا
حلقه سنگزنی آلومینای پایه فلزی St.Cera ترکیبی از یک لایه سایش سرامیکی آلومینای با خلوص بالا (99.8٪ Al₂O₃) با یک پایه فلزی ماشینکاری شده با دقت بالا (معمولاً آلومینیوم یا فولاد ضد زنگ) است. این طراحی ترکیبی، مقاومت سایشی استثنایی و بیاثری شیمیایی سرامیک را روی سطح سنگزنی فراهم میکند، در حالی که پایه فلزی، استحکام مکانیکی، نصب آسان و مقاومت در برابر شکست ترد را افزایش میدهد. لایه آلومینا، استحکام خمشی 361 مگاپاسکال، سختی ویکرز 16 گیگاپاسکال و پایداری حرارتی تا 800 درجه سانتیگراد را ارائه میدهد. پایه فلزی با سوراخهای نصب، پینهای مکانیابی یا خواص مغناطیسی برای ادغام در ماشینهای سنگزنی، سنگهای سیارهای و تجهیزات CMP سفارشیسازی میشود.
-
قطعات یدکی سرامیکی برای تجهیزات ایستگاه پروب نیمه هادی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
پردازش سفارشی چاک ویفر سرامیکی Al2O3
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
بشقاب سرامیکی تجهیزات نیمه هادی سفارشی ST.CERA
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی میشوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده میشوند، میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند. سرامیکها میتوانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمههادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
سه نظام خلاء آلومینایی ۱۲ اینچی برای پردازش ویفر ۳۰۰ میلیمتری
سه نظام خلاء ۱۲ اینچی St.Cera با دقت از ۹۹.۸٪ آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) برای جابجایی ویفر ۳۰۰ میلیمتری ساخته شده است. این سه نظام دارای سطح شیاردار ریز (عرض شیار ۰.۵ تا ۱.۰ میلیمتر، گام ۲ تا ۳ میلیمتر) است تا توزیع یکنواخت خلاء در کل قطر ۳۰۰ میلیمتر تضمین شود. صافی در محدوده ۵ میکرومتر حفظ میشود و امکان تثبیت بدون تاب ویفر را در حین خرد کردن، سنگزنی از پشت و بازرسی فراهم میکند. استحکام خمشی بالای این ماده (۳۶۱ مگاپاسکال) و سختی (۱۶ گیگاپاسکال) پایداری ابعادی طولانی مدت را حتی تحت چرخههای مکرر خلاء تضمین میکند.
-
افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا با کانالهای خلاء یکپارچه
ابزار انتهایی خلاء آلومینایی St.Cera، کانالهای خلاء ماشینکاریشده با دقت و سوراخهای مکش را مستقیماً در بدنه آلومینای با خلوص بالای ۹۹.۸٪ ادغام میکند. این طراحی، پدهای خلاء خارجی را حذف میکند و امکان برداشت مستقیم ویفر با نیروی نگهدارنده یکنواخت را فراهم میکند. استحکام خمشی بالای این ماده (۳۶۱ مگاپاسکال) و سختی (۱۶ گیگاپاسکال) پایداری ابعادی بلندمدت را تحت چرخههای مکرر خلاء تضمین میکند. صافی در سراسر ناحیه پد در محدوده ۱۰ میکرومتر حفظ میشود و از تنش و شکستگی ویفر جلوگیری میکند. درگاههای خلاء برای ادغام آسان با بازوهای ربات OEM در فلنج نصب عقب قرار دارند.
-
قطعات سرامیکی آلومینا ESD-Safe برای جابجایی ویفر حساس به الکتریسیته ساکن
قطعات سرامیکی آلومینای ایمن در برابر ESD (تخلیه الکترواستاتیک) شرکت St.Cera از Al₂O₃ با خلوص بالای ۹۹.۸٪ و مقاومت سطحی مناسب ۱۰⁶–۱۰⁹ Ω/sq ساخته شدهاند که از طریق یک فرآیند دوپینگ یا پوشش اختصاصی حاصل میشود. این قطعات به طور موثر بار ساکن را پراکنده میکنند و از آسیب الکترواستاتیک به ویفرها و دستگاههای نیمههادی حساس جلوگیری میکنند. ماده پایه، استحکام خمشی بالا (۳۶۱ مگاپاسکال)، سختی (۱۶ گیگاپاسکال) و استحکام دیالکتریک (۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر) خود را حفظ میکند. قطعات سرامیکی ایمن در برابر ESD شامل قطعات انتهایی، پینهای بالابر، ریلهای راهنما و فیکسچرهای سفارشی برای اتوماسیون FAB هستند.
