افکتور انتهایی سرامیکی سیلیکون کاربید (SiC) - استحکام بالا برای کار با ویفر در دمای بالا
سرند افکتور سرامیکی SiC شرکت St.Cera از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (محتوای SiC 99.72٪، Si آزاد 0.05٪) با استفاده از ماده اولیه S1111 ساخته شده است. این سرند خواص مکانیکی استثنایی از جمله استحکام خمشی 449 مگاپاسکال (اندازهگیری شده)، مدول الاستیک 457 گیگاپاسکال (اندازهگیری شده) و سختی ویکرز 25 تا 28 گیگاپاسکال (معمولی) را ارائه میدهد. چگالی کم (3.10 تا 3.15 گرم بر سانتیمتر مکعب، معمول) سختی ویژه بالایی را فراهم میکند که برای رباتهای انتقال ویفر با سرعت بالا ایدهآل است. این سرند افکتور با رسانایی حرارتی 120 تا 150 وات بر متر مکعب (معمولی) و ضریب انبساط حرارتی 4.0 تا 4.5×10⁻⁶/℃ (معمولی)، به طور موثری گرما را دفع کرده و پایداری ابعادی را در حین کار با دمای بالا (تا 1600 تا 1700 درجه سانتیگراد، بدون بار) حفظ میکند. رنگ مشکی/خاکستری و جذب آب صفر، سازگاری با اتاق تمیز را تضمین میکند.
مشخصات(بر اساس گزارش آزمایش SiC S1111 ارائه شده و مقادیر معمول)):
| ملک | ارزش |
| مواد | SiC (99.72% SiC، 0.05% Si آزاد) |
| رنگ | مشکی/خاکستری |
| تراکم | ۳.۱۰–۳.۱۵ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| جذب آب | 0% |
| استحکام خمشی | ۴۴۹ مگاپاسکال (میانگین) |
| چقرمگی شکست | ۳.۱۲ مگاپاسکال بر متر مربع (میانگین) |
| مدول الاستیک | ۴۵۷ گیگا پاسکال |
| سختی ویکرز | ۲۵–۲۸ گیگا پاسکال |
| رسانایی حرارتی (25 درجه سانتیگراد) | ۱۲۰–۱۵۰ وات بر متر مکعب بر کلوین |
| CTE (25-1000 درجه سانتیگراد) | ۴.۰–۴.۵×۱۰⁻⁶/℃ |
| حداکثر دمای استفاده (بدون بار) | ۱۶۰۰–۱۷۰۰ درجه سانتیگراد |
کاربردها:
● کار با ویفر در دمای بالا (پس از آنیل، RTP، اپیتاکسی)
● محفظههای حکاکی پلاسما که نیاز به مقاومت بالا در برابر فرسایش دارند
● رباتهای انتقال سریع (سبک، سفتی بالا)
تولید:
تفجوشی پودر SiC → سنگزنی دقیق CNC پروفیل بازو و اجزای نصب → صیقلکاری سطح → تمیزکاری اولتراسونیک. بازرسی ابعادی ۱۰۰٪ و تست نشتی هلیوم برای کاربردهای خلاء.
کنترل کیفیت:
● بازرسی CMM از طول، عرض و صافی
● آزمایش مقاومت خمشی در هر دسته (در هر استاندارد گزارش آزمایش)
● بررسی بصری زیر میکروسکوپ برای عیوب سطحی
مزایای آن نسبت به آلومینا یا فلز:
● دو برابر مدول الاستیک بالاتر (۴۵۷ در مقابل تقریباً ۳۸۰ گیگاپاسکال برای آلومینا) - انحراف کمتر
● رسانایی حرارتی ۳ برابر بیشتر - اتلاف حرارت سریعتر
● تحمل دمای بیش از ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد در مقایسه با دمای ۸۰۰ درجه سانتیگراد آلومینا در هوا
● چگالی کمتر از فولاد - 40٪ کاهش وزن
سفارشی سازی:
طول ۱۵۰ تا ۴۵۰ میلیمتر، شکل نوک (لبه گیر، برنولی، تخت)، الگوهای فلنج نصب طبق نقشه OEM.
*تمام دادههای مکانیکی فوق از گزارش آزمایش ارائه شده (دسته S1111) گرفته شده است. مقادیر حرارتی و سختی برای این گرید SiC معمول است. لطفاً برای دریافت گواهینامه خاص هر سری با ما تماس بگیرید.*
