قطعات سرامیکی آلومینا ESD-Safe برای جابجایی ویفر حساس به الکتریسیته ساکن
قطعات سرامیکی آلومینای ایمن در برابر ESD (تخلیه الکترواستاتیک) شرکت St.Cera از Al₂O₃ با خلوص بالای ۹۹.۸٪ و مقاومت سطحی مناسب ۱۰⁶–۱۰⁹ Ω/sq ساخته شدهاند که از طریق یک فرآیند دوپینگ یا پوشش اختصاصی حاصل میشود. این قطعات به طور موثر بار ساکن را پراکنده میکنند و از آسیب الکترواستاتیک به ویفرها و دستگاههای نیمههادی حساس جلوگیری میکنند. ماده پایه، استحکام خمشی بالا (۳۶۱ مگاپاسکال)، سختی (۱۶ گیگاپاسکال) و استحکام دیالکتریک (۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر) خود را حفظ میکند. قطعات سرامیکی ایمن در برابر ESD شامل قطعات انتهایی، پینهای بالابر، ریلهای راهنما و فیکسچرهای سفارشی برای اتوماسیون FAB هستند.
مشخصات(بر اساس ۹۹.۸٪ Al₂O₃ با عملیات ESD):
| ملک | ارزش |
| جنس پایه | ۹۹.۸٪ آلومینا |
| مقاومت سطحی (ESD) | ۱۰⁶–۱۰⁹ اهم بر متر مربع |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| مدول یانگ | ۳۸۰ گیگا پاسکال |
| انبساط حرارتی (25-1000 درجه سانتیگراد) | ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۸۰۰ درجه سانتیگراد |
| قدرت دی الکتریک (حجمی) | ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر |
توجه: مقاومت ویژه سطح ESD در جداول خواص مواد ارائه شده ارائه نشده است. محدوده فوق استاندارد صنعتی برای سرامیکهای اتلافی است. لطفاً برای گزارش آزمایش با ما تماس بگیرید.
کاربردها:
● افکتورهای انتهایی ایمن در برابر ESD برای انتقال ویفر
● پینهای اتصال زمین و وسایل ESD در تجهیزات FAB
● تست پریزها برای دستگاههای حساس به الکتریسیته ساکن
● ابزار اتاق تمیز که در آن کنترل استاتیک بسیار مهم است
تولید و کیفیت:
پردازش استاندارد آلومینا + عملیات سطحی ESD → مقاومت سطحی اندازهگیری شده بر اساس ANSI/ESD STM11.11. هر قطعه 100٪ با یک الکترود حلقهای متحدالمرکز آزمایش شده است.
مزایا:
● جلوگیری از افت عملکرد مربوط به ESD
● حفظ استحکام مکانیکی و مقاومت شیمیایی سرامیک
● عدم تولید ذرات ناشی از تخلیه الکتریسیته ساکن








