افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا با کانالهای خلاء یکپارچه
ابزار انتهایی خلاء آلومینایی St.Cera، کانالهای خلاء ماشینکاریشده با دقت و سوراخهای مکش را مستقیماً در بدنه آلومینای با خلوص بالای ۹۹.۸٪ ادغام میکند. این طراحی، پدهای خلاء خارجی را حذف میکند و امکان برداشت مستقیم ویفر با نیروی نگهدارنده یکنواخت را فراهم میکند. استحکام خمشی بالای این ماده (۳۶۱ مگاپاسکال) و سختی (۱۶ گیگاپاسکال) پایداری ابعادی بلندمدت را تحت چرخههای مکرر خلاء تضمین میکند. صافی در سراسر ناحیه پد در محدوده ۱۰ میکرومتر حفظ میشود و از تنش و شکستگی ویفر جلوگیری میکند. درگاههای خلاء برای ادغام آسان با بازوهای ربات OEM در فلنج نصب عقب قرار دارند.
مشخصات(بر اساس ۹۹.۸٪ Al₂O₃):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| مدول یانگ | ۳۸۰ گیگا پاسکال |
| انبساط حرارتی | ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ |
| صافی پد | ≤10 میکرومتر |
| عرض کانال خلاء | ۰.۵–۲.۰ میلیمتر |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۸۰۰ درجه سانتیگراد |
کاربردها:
● جمعآوری ویفرهای نازک یا تابدار با خلاء
● جابجایی مستقیم ویفر بدون گیر کردن لبهها
● انتقال زیرلایه سلول خورشیدی و LED
تولید:
قطعه آلومینای متخلخل → سوراخکاری کانالها و سوراخهای خلاء با CNC پنج محوره → پرداخت سطح → تمیزکاری اولتراسونیک → تست نشتی هلیوم. هر افکتور ۱۰۰٪ از نظر یکنواختی خلاء آزمایش جریان میشود.
مزایا:
● بدون پدهای خلاء خارجی (منابع ذرات را کاهش میدهد)
● فشار نگهداری یکنواخت از ایجاد خط و خش روی ویفر جلوگیری میکند
● از نظر شیمیایی بیاثر و سازگار با اتاق تمیز
