حلقه آببندی سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای آببندی محفظه در دمای بالا
حلقه آببندی سرامیکی St.Cera به عنوان جایگزینی برای حلقههای O پلیمری در محیطهای سخت که الاستومرها تخریب میشوند، طراحی شده است. این حلقه آببندی سفت و سخت که از 99.8٪ آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) ساخته شده است، در کاربردهای آببندی استاتیک - که معمولاً با یک واشر فلزی نرم یا گرافیتی جفت میشود - برای فراهم کردن خلاء یا مهار گاز قابل اعتماد در دماهای تا 800 درجه سانتیگراد و در محیطهای پلاسما یا شیمیایی تهاجمی استفاده میشود. این ماده بدون خروج گاز، مقاومت فشاری بالا (مقاومت خمشی اساسی 361 مگاپاسکال) و بیاثری شیمیایی (مقاوم در برابر هالوژنها، اسیدها و قلیاها به جز HF) را ارائه میدهد. سطوح آببندی دقیق (صاف بودن ≤5 میکرومتر، زبری سطح Ra ≤0.2 میکرومتر) تماس بدون نشت با اجزای فلزی یا سرامیکی جفت شده را تضمین میکند.
مشخصات(بر اساس ۹۹.۸٪ آلومینیوم)₂O₃):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| جذب آب | 0% |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| مقاومت فشاری (تخمینی) | >2000 مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| انبساط حرارتی (۲۵ تا ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد) | ۷.۲×۱۰⁻⁶/℃ |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۸۰۰ درجه سانتیگراد (هوا)، ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد (خنثی) |
| پرداخت سطح (سطح آببندی) | Ra ≤0.2 میکرومتر (همپوشانی شده) |
| صافی (در هر 25 میلیمتر) | ≤5 میکرومتر |
| میزان نشت هلیوم | <1×10⁻¹⁰ پاسکال متر مکعب بر ثانیه (با واشر مناسب) |
کاربردها:
- · آببندیهای استاتیک محفظه فرآیند نیمههادی (CVD، PVD، حکاکی)
- · آببندهای درب کورههای دمای بالا
- · فلنجهای تغذیه خلاء
- · بستن مخازن رآکتور شیمیایی
فرآیند تولید:
پرس ایزواستاتیک → تفجوشی در دمای ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد → صیقلکاری دقیق دو طرفه برای دستیابی به سطوح آببندی بسیار صاف و یکدست → پخزنی لبهها → تمیزکاری اولتراسونیک. هر حلقه ۱۰۰٪ تست نشتی روی یک آشکارساز نشت هلیوم با واشر فلزی استاندارد انجام میشود.
کنترل کیفیت:
- · بررسی ابعادی CMM (شناسه، قطر خارجی، ضخامت، توازی)
- · پروفیلمتر سطحی برای Ra و موجدار بودن
- · اندازهگیری تختی با استفاده از تخت نوری
- · آزمایش نشتی هلیوم (روش فشار معکوس)
مزایای آن نسبت به اورینگهای پلیمری:
- · 800 درجه سانتی گراد در مقابل 300 درجه سانتی گراد برای FFKM مقاومت می کند
- · عدم خروج گاز - عدم آلودگی محیط خلاء
- · مقاوم در برابر تمام مواد شیمیایی پلاسما (فلوئور، کلر، اکسیژن)
- · بدون فشردگی یا تغییر شکل دائمی
- · طول عمر نامحدود در محیطهای تمیز
محدودیتها (نکات انتقادی):
- · حلقه O نیست— این یک حلقه سرامیکی سفت و سخت است که برای آببندی به یک واشر نرم (مس، آلومینیوم یا گرافیت) نیاز دارد.
- · حرکت دینامیکی یا ناهمراستایی بزرگ فلنج را تحمل نمیکند.
- · هزینه اولیه بالاتر نسبت به اورینگهای پلیمری، اما طول عمر بیشتر، هزینه مالکیت را کاهش میدهد.
- · شکننده - با احتیاط حمل شود؛ از ضربه نقطهای یا خم شدن جلوگیری شود.
توجه:دادههای فوق دقیقاً از جدول خواص Al₂O₃ ارائه شده پیروی میکنند. هیچ دادهای برای مواد الاستومری ارائه نشده است. این محصول یک حلقه آببندی استاتیک است، نه یک حلقه O الاستومری. لطفاً تأیید کنید که آیا این محصول الزامات کاربرد شما را برآورده میکند یا خیر.
