حلقه فوکوس محفظه آلومینای با خلوص بالا برای سیستم‌های اچ پلاسما و CVD

حلقه فوکوس محفظه St.Cera یک جزء حیاتی کیت فرآیند است که در تجهیزات نیمه‌هادی حکاکی پلاسما، CVD و PVD استفاده می‌شود. این حلقه که از 99.8٪ آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) ساخته شده است، لبه ویفر را احاطه می‌کند تا پلاسما را محدود کرده و توزیع زاویه‌ای یون را بهینه کند و در نتیجه یکنواختی حکاکی را در سطح ویفر بهبود بخشد. این ماده مقاومت پلاسمایی استثنایی، استحکام دی‌الکتریک بالا (15×10⁶ V/m) و پایداری حرارتی تا 1600 درجه سانتیگراد را ارائه می‌دهد و قابلیت اطمینان طولانی مدت را در محیط‌های پلاسمای تهاجمی مبتنی بر فلوئور یا کلر تضمین می‌کند. قطر داخلی/خارجی دقیق زمین شده و صافی (≤10 میکرومتر) امکان موقعیت‌یابی دقیق لبه ویفر را فراهم می‌کند و عیوب لبه و تولید ذرات را کاهش می‌دهد.

مشخصات(بر اساس ۹۹.۸٪ آلومینیوم)₂O₃):

کاربردها:

• · حلقه‌های فوکوس محفظه حکاکی دی‌الکتریک (اکسید، حکاکی نیترید)
• · حلقه‌های لبه محفظه حکاکی سیلیکونی
• · حلقه‌های کیت فرآیند محفظه CVD
• · محافظ محفظه PVD و حلقه‌های گیره

فرآیند تولید:

پودر آلومینای با خلوص بالا به صورت ایزواستاتیک پرس می‌شود → ماشین‌کاری اولیه تا رسیدن به شکل تقریباً نهایی → تف‌جوشی در دمای ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد → سنگ‌زنی CNC با الماس برای قطر داخلی، قطر خارجی و ضخامت → لایه‌گذاری برای دستیابی به صافی ≤۱۰ میکرومتر → تمیزکاری اولتراسونیک → بازرسی CMM ۱۰۰٪. Ra سطح نهایی ≤۰.۴ میکرومتر چسبندگی ذرات را به حداقل می‌رساند.

کنترل کیفیت:

• · بازرسی ابعادی ۱۰۰٪ (قطر داخلی، قطر خارجی، ضخامت، توازی)
• · آزمایش نفوذ رنگ برای ترک‌های ریز (بدون ترک مجاز)
• · بررسی بصری زیر میکروسکوپ 20 برابر - بدون تراشه، حفره یا تغییر رنگ
• · آزمایش مقاومت دی‌الکتریک طبق استاندارد ASTM D149 (نمونه‌برداری)

مزایای حلقه‌های فوکوس سیلیکونی یا کوارتزی:

• · 5 تا 10 برابر طول عمر بیشتر در پلاسمای فلوروکربن
• · بدون ذرات فرسایشی مصرفی که ویفرها را آلوده می‌کنند
• · قدرت دی الکتریک بالاتر از ایجاد قوس الکتریکی جلوگیری می‌کند
• · حفظ صافی و دقت ابعادی در طول هزاران ساعت RF

ماده جایگزین — زیرکونیای پایدار شده با ایتریا (ZrO2)₂):

برای کاربردهایی که نیاز به چقرمگی شکست بالاتری دارند (مثلاً محفظه‌هایی با چرخه‌های حرارتی مکرر یا شوک مکانیکی)، حلقه‌های فوکوس ZrO₂ (چگالی 6.03 گرم بر سانتی‌متر مکعب، استحکام خمشی 1000 مگاپاسکال، چقرمگی شکست 5-8 مگاپاسکال بر متر مربع) موجود است. با این حال، آلومینا مقرون به صرفه‌تر است و استاندارد صنعتی برای اکثر کاربردهای حلقه فوکوس است.

سفارشی سازی:

• · پروفیل‌های پله‌ای، سوراخ‌های پیشخوان یا سوراخ‌های نصب طبق نقشه مشتری
• پوشش Y₂O₃ برای افزایش مقاومت در برابر فرسایش پلاسما (ضخامت 20 تا 100 میکرومتر)
• · علامت گذاری لیزری شماره قطعه، کد تاریخ یا علائم تراز

توجه:تمام داده‌ها دقیقاً از جدول خواص Al₂O₃ ارائه شده پیروی می‌کنند. برای مشخصات ZrO₂، به برگه اطلاعات زیرکونیای ارائه شده مراجعه کنید. طرح‌های حلقه فوکوس ممکن است نیاز به مجوز ثبت اختراع داشته باشند - مشتریان مسئول تأیید حقوق مالکیت معنوی هستند.