قطعات مکانیکی سرامیکی برای تجهیزات ویژه

شرح مختصر:

از ایجاد ذراتی که می‌توانند از لبه‌های مورب یا زاویه‌دار و سطح پشتی در حین حمل ویفرها یا در تماس با End Effector/Handling Arm ایجاد شوند، جلوگیری کنید.

برای راهنماها، از ماده‌ای نرم استفاده شد که به ویفر آسیب نمی‌رساند.

نازک شدن با فناوری کانال خلاء داخلی ST.CERA که از چسب استفاده نمی‌کند، امکان‌پذیر است.

امکان ایجاد سوراخ‌های نصب و تغییر طول و عرض پایه‌ای که End Effector / Handling Arm روی ربات نصب می‌شود.

نصب سنسورها، پیچ‌ها و براکت‌ها به عنوان یک گزینه اختیاری در دسترس است.

طراحی شده برای استفاده در اتمسفر