حلقه سرامیکی آلومینای با خلوص بالا سفارشی برای تولیدکنندگان و تامین‌کنندگان محفظه‌های فرآیند CVD / PVD

حلقه سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای محفظه‌های فرآیند CVD / PVD

شرح مختصر:

حلقه سرامیکی St.Cera به طور خاص برای استفاده در محفظه‌های فرآیند CVD (رسوب شیمیایی بخار) و PVD (رسوب فیزیکی بخار) طراحی شده است. این حلقه که از آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) با ۹۹.۸٪ ساخته شده است، به عنوان آستر محفظه، حلقه فوکوس یا جزء کیت فرآیند برای محدود کردن پلاسما و محافظت از دیواره‌های محفظه در برابر فرسایش عمل می‌کند. این ماده مقاومت عالی در برابر پلاسما، استحکام دی‌الکتریک بالا (۱۵×۱۰⁶ V/m) و پایداری حرارتی تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد را ارائه می‌دهد و عمر طولانی در محیط‌های پلاسمای تهاجمی مبتنی بر فلوئور را تضمین می‌کند. تلرانس‌های ابعادی دقیق (±۰.۰۵ میلی‌متر در قطر داخلی/قطر خارجی) و مسطح بودن (≤۱۰ میکرومتر) امکان قرارگیری لبه ویفر ثابت، بهبود یکنواختی رسوب و کاهش تولید ذرات را فراهم می‌کند.

برای ما ایمیل ارسال کنید

جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

مشخصات (بر اساس ۹۹.۸٪ Al₂O₃):

ملک	ارزش
مواد	۹۹.۸٪ آلومینا (عاج)
تراکم	۳.۹۳ گرم بر سانتی‌متر مکعب
جذب آب	0%
استحکام خمشی	۳۶۱ مگاپاسکال
چقرمگی شکست	۳–۴ مگاپاسکال متر مکعب بر متر مکعب
سختی ویکرز	۱۶ گیگا پاسکال
مدول یانگ	۳۸۰ گیگا پاسکال
رسانایی حرارتی	۳۲ وات بر متر مکعب بر کیلومتر
انبساط حرارتی (۲۵ تا ۱۰۰۰ درجه سانتیگراد)	۷.۲×۱۰⁻⁶/℃
مقاومت دی الکتریک	۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر
مقاومت ویژه	>10¹⁴ اهم·سانتی‌متر
حداکثر دمای عملیاتی	۱۶۰۰ درجه سانتی‌گراد

کاربردها:

· حلقه‌های فوکوس و حلقه‌های لبه محفظه CVD
· حلقه‌های محافظ و حلقه‌های گیره محفظه PVD
· آسترهای محفظه و حلقه‌های پوششی حکاکی شده
· حلقه‌های محصورکننده پلاسما در سیستم‌های حکاکی دی‌الکتریک

فرآیند تولید:

پرس ایزواستاتیک → ماشینکاری سبز → تف‌جوشی در دمای ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد → سنگ‌زنی CNC قطر داخلی/خارجی → صیقل‌کاری سطح → تمیزکاری اولتراسونیک → بازرسی ۱۰۰٪ CMM. پرداخت سطح فوق‌العاده صاف (Ra ≤۰.۴ میکرومتر) چسبندگی ذرات را به حداقل می‌رساند.

کنترل کیفیت:

· بررسی ابعادی ۱۰۰٪ (ID، OD، ضخامت، صافی)
· بازرسی با مایع نافذ رنگی برای میکروترک‌های سطحی
· آزمایش مقاومت دی‌الکتریک طبق استاندارد ASTM D149
· بدون تغییر رنگ یا تخلخل قابل مشاهده در زیر میکروسکوپ 20 برابر

مزایای آن نسبت به حلقه‌های فلزی یا کوارتز:

· 5 تا 10 برابر طول عمر بیشتر نسبت به حلقه‌های آلومینیومی در پلاسمای فلوئور
· عدم وجود آلودگی فلزی در لایه‌های نازک
· مقاومت پلاسمایی بالاتر نسبت به کوارتز (بدون حفره‌های فرسایشی)
· حتی پس از استفاده طولانی مدت، عایق الکتریکی >10¹⁴ Ω·cm را حفظ می‌کند

ماده جایگزین — نیترید سیلیکون (Si)₃N₄):

برای کاربردهایی که به چقرمگی شکست حتی بالاتر (6.2 MPa·m¹/²) و مقاومت در برابر شوک حرارتی بهتر (ضریب انبساط 3.2×10⁻⁶/℃) نیاز دارند، حلقه‌های Si₃N₄ موجود است. با این حال، آلومینا برای اکثر کاربردهای CVD/PVD مقرون به صرفه‌تر است. لطفاً هنگام سفارش، ترجیح خود را در مورد جنس ماده مشخص کنید.

سفارشی سازی: