-
تجهیزات نیمههادی سفارشی ST.CERA سه نظامهای سرامیکی
فرآیند حیاتی میدان نیمههادی باید در اتاق تمیز انجام شود، به خصوص برای دستگاههایی که باید تحت شرایط دمای بالا، خلاء و گازهای خورنده استفاده شوند. سرامیکها میتوانند پایداری بالایی را در محیطهای فیزیکی و شیمیایی پیچیده حفظ کنند.
-
تجهیزات نیمه هادی سفارشی ST.CERA بشقاب سرامیکی
فرآیند حیاتی میدان نیمههادی باید در اتاق تمیز انجام شود، به خصوص برای دستگاههایی که باید تحت شرایط دمای بالا، خلاء و گازهای خورنده استفاده شوند. سرامیکها میتوانند پایداری بالایی را در محیطهای فیزیکی و شیمیایی پیچیده حفظ کنند.
-
حلقه فوکوس سرامیکی نیمه هادی سفارشی ST.CERA
فرآیند حیاتی میدان نیمههادی باید در اتاق تمیز انجام شود، به خصوص برای دستگاههایی که باید تحت شرایط دمای بالا، خلاء و گازهای خورنده استفاده شوند. سرامیکها میتوانند پایداری بالایی را در محیطهای فیزیکی و شیمیایی پیچیده حفظ کنند.
-
بازوی لودر سرامیکی آلومینا 99.5٪ سفارشی ST.CERA
بازوی سرامیکیِ مؤثر در انتهای تراشه/بازوی جابجایی تراشه، روی ربات جابجاکنندهی ویفر یا «مؤثر در انتهای تراشه» نصب میشود و برای حمل ویفرهای سیلیکونی به داخل یا خارج از کاستها یا محفظههای فرآیند استفاده میشود.
مزایای استفاده از سرامیکها کاهش انحراف به دلیل استحکام خمشی بالا، مقاومت در برابر دماهای بالا و حذف آلودگی و ذرات فلزی است. -
افکتور سرامیکی آلومینای سفارشی ST.CERA
ST.CERA پوشش ESD و ماده سرامیکی ESD End Effector را ارائه میدهد. این پوشش از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده و با پرس ایزواستاتیک سرد، تف جوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است. این پوشش میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، سطح نهایی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
حلقه فوکوس سرامیکی نیمه هادی سفارشی ST.CERA
قطعات یدکی سرامیکی از سرامیک آلومینای با خلوص بالا (بالای ۹۹.۵٪) ساخته شدهاند که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی شدهاند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده شدهاند. این قطعات یدکی سرامیکی میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند.
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
بوش سرامیکی آلومینا دقیق نیمه هادی سفارشی ST.CERA
قطعات یدکی سرامیکی از سرامیک آلومینای با خلوص بالا (بالای ۹۹.۵٪) ساخته شدهاند که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی شدهاند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده شدهاند. این قطعات یدکی سرامیکی میتوانند با ویژگیهای مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمههادی را برآورده کنند.
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
افکتور انتهایی خلاء سرامیکی آلومینا سفارشی ST.CERA
این یک بازوی انتهایی/جابجایی سرامیکی سینیدار است که تحت شرایط خلاء استفاده میشود.
بازوی انتهایی سرامیکی / بازوی هندلینگ در مقایسه با نمونههای فلزی، «مقاومت حرارتی بیشتری»، «انحراف کمتر» و وزن «سبکتری» دارد.
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
لولهها و میلههای سرامیکی آلومینای ۹۹.۵٪ سفارشی ST.CERA
سرامیک با ویژگیهای مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق بودن، میتواند در بسیاری از تجهیزات تولید نیمههادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
جابجایی ویفر سرامیکی آلومینای سفارشی ST.CERA با افکتور انتهایی
ST.CERA پوشش ESD و بازوی انتهایی/جابجایی از جنس سرامیک ESD را با یک کانال توخالی داخلی ارائه میدهد. ما در تکنیکی تخصص داریم که بدون استفاده از چسب، یک کانال هوای خلاء درون یک قطعه از ماده تشکیل میدهد.
هیچ خطری از نظر آلودگی، خروج گاز یا ذرات وجود ندارد. بازوی انتهایی/جابجایی جاروبرقی ST.CERA با فناوری پوشش ویژه، عایق الکتریکی است. ما همچنین میتوانیم مواد سرامیکی ESD را که بدون هیچ پوششی عایق الکتریکی است، ارائه دهیم.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد. -
اجزای تجهیزات نیمه هادی افکتور انتهایی سرامیکی آلومینا
از ایجاد ذراتی که میتوانند از لبههای مورب یا زاویهدار و سطح پشتی در حین حمل ویفرها یا در تماس با End Effector/Handling Arm ایجاد شوند، جلوگیری کنید.
برای راهنماها، از مادهای نرم استفاده شد که به ویفر آسیب نمیرساند.
نازک شدن با فناوری کانال خلاء داخلی ST.CERA که از چسب استفاده نمیکند، امکانپذیر است.
امکان ایجاد سوراخهای نصب و تغییر طول و عرض پایهای که End Effector / Handling Arm روی ربات نصب میشود.
نصب سنسورها، پیچها و براکتها به عنوان یک گزینه موجود است.
برای استفاده در اتمسفر طراحی شده است.
-
ماشینکاری CNC سفارشی افکتور انتهایی سرامیکی St.Cera
ST.CERA یک بازوی اجرایی انتهایی/جابجایی سرامیکی خلاء با یک کانال توخالی داخلی ارائه میدهد. ما در تکنیکی تخصص داریم که بدون استفاده از چسب، یک کانال هوای خلاء درون یک قطعه از ماده تشکیل میدهد.
هیچ خطری از نظر آلودگی، خروج گاز یا ذرات وجود ندارد. بازوی انتهایی/جابجایی وکیوم ST.CERA با کانال داخلی بادوام است و میتواند در دماهای بالا مورد استفاده قرار گیرد. علاوه بر این، با حذف مونتاژهای غیرضروری، هزینه تولید ما میتواند کاهش یابد.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تفجوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و میتواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلیمتر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
