صفحه سرامیکی آلومینا با فرمت بزرگ برای نیمه هادی ها و وسایل صنعتی
شرکت St.Cera صفحات سرامیکی با ابعاد بزرگ از آلومینای با خلوص بالای ۹۹.۸٪ (Al₂O₃) با حداکثر ابعاد تا ۱۵۰۰ میلیمتر در طول و ۶۰۰ میلیمتر در عرض تولید میکند. قابلیتهای سنگزنی دقیق ما، صافی ۰.۰۰۳ میلیمتر روی ۱۰۰ میلیمتر و توازی ۰.۰۰۲ میلیمتر را تضمین میکند و کیفیت سطح ثابتی را برای کاربردهای با مساحت بزرگ تضمین میکند. ضخامت تا ۱۰۰ میلیمتر، پرداخت سطح تا Ra0.1. این صفحات به عنوان پایههای سه نظام خلاء، صفحات گرمکن، پنلهای عایق الکتریکی و کف محفظههای فرآیند در تولید نیمههادی، نمایشگر و فتوولتائیک استفاده میشوند. سوراخهای سرتاسری، سوراخهای متقابل و پروفیل لبه موجود است.
مشخصات (بر اساس 99.8٪ آلومینیوم)₂O₃و قابلیتهای تولیدی St.Cera):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| مقاومت دی الکتریک | ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر |
| حداکثر طول | ۱۵۰۰ میلیمتر |
| حداکثر عرض | ۶۰۰ میلیمتر |
| حداکثر ضخامت | ۱۰۰ میلیمتر |
| صافی (در هر 100 میلیمتر) | 0.003 میلیمتر |
| موازیسازی | 0.002 میلیمتر |
| پرداخت سطح | Ra0.1 (پوشیده/جلا داده شده) |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد |
کاربردها:
- صفحات پایه سه نظام وکیوم برای ویفرها و پنلهای بزرگ
- · صفحات گرمکن برای تجهیزات پردازش حرارتی
- · پنلهای عایق الکتریکی در سیستمهای ولتاژ بالا
- · کف محفظه فرآیند و صفحات آستر
دقت تولید:
راستی: 0.005 میلیمتر، عمود بودن: 0.005 میلیمتر، تأیید شده با تداخلسنج لیزری.
مزایا نسبت به صفحات فلزی:
- · بدون آلودگی فلزی - برای فرآیندهای نیمه هادی بسیار مهم است
- · بدون گاز خروجی - ایدهآل برای محیطهای خلاء
- · مقاومت سایشی و شیمیایی عالی
سفارشی سازی:
الگوهای سوراخ سفارشی، پروفیلهای لبه، سطوح پلهای و نواحی نصب متالیزه موجود است.
