حلقه عایق PVD آلومینا برای سیستمهای رسوب فیزیکی بخار
حلقه عایق PVD شرکت St.Cera از آلومینای با خلوص بالا (Al₂O₃) با خلوص ۹۹.۸٪ برای استفاده در سیستمهای رسوب فیزیکی بخار (PVD) ساخته شده است. این حلقه، ایزولاسیون الکتریکی بین اجزای محفظه را فراهم میکند، از قوس الکتریکی جلوگیری میکند و عملکرد پایدار پلاسما را تضمین میکند. خواص کلیدی آن شامل مقاومت دیالکتریک بالا (۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر)، مقاومت ویژه >۱۰¹⁴ Ω·mm²/m و پایداری حرارتی تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد است. قابلیتهای ماشینکاری دقیق ما، قطرهای خارجی تا ۶۰۰ میلیمتر، قطرهای داخلی تا ۰.۲ میلیمتر، صافی ۰.۰۰۳ میلیمتر و سطح نهایی Ra0.1 را به دست میدهد. تخلخل صفر و بیاثری شیمیایی حلقه، قابلیت اطمینان طولانیمدت را در محیطهای پراش تهاجمی تضمین میکند.
مشخصات (بر اساس 99.8٪ آلومینیوم)₂O₃و قابلیتهای تولیدی St.Cera):
| ملک | ارزش |
| مواد | ۹۹.۸٪ آلومینا (عاج) |
| تراکم | ۳.۹۳ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| استحکام خمشی | ۳۶۱ مگاپاسکال |
| سختی ویکرز | ۱۶ گیگا پاسکال |
| مقاومت دی الکتریک | ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر |
| مقاومت ویژه | >10¹⁴ اهم·میلیمتر مربع بر متر |
| حداکثر قطر بیرونی | ۶۰۰ میلیمتر |
| قطر داخلی حداقل | 0.2 میلیمتر |
| حداکثر ضخامت | ۱۰۰ میلیمتر |
| صافی | 0.003 میلیمتر |
| موازیسازی | 0.002 میلیمتر |
| پرداخت سطح | Ra0.1 |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد |
کاربردها:
- · عایقهای صفحهای پشتیبان هدف در سیستمهای PVD
- · عایقهای تغذیه محفظه
- · عایقهای حلقهای محافظ در سیستمهای کندوپاش
- · ایزولاسیون ولتاژ بالا در محفظههای پلاسما
دقت تولید:
متحدالمرکز بودن: 0.01 میلیمتر، گردی: 0.002 میلیمتر، صافی: 0.005 میلیمتر، عمود بودن: 0.005 میلیمتر، تأیید شده توسط CMM.
Aمزایای آن نسبت به عایقهای پلیمری:
- · تحمل دمای 1600 درجه سانتیگراد در مقایسه با محدودیت کمتر از 300 درجه سانتیگراد پلیمر
- · بدون خروج گاز - حفظ یکپارچگی خلاء
- · در برابر فرسایش پلاسما و حمله شیمیایی مقاوم است
سفارشی سازی:
مقاطع عرضی سفارشی، ویژگیهای نصب، پروفیلهای پلهای و طرحهای حلقههای متحدالمرکز چندگانه موجود است.
