قطعات ساختاری سرامیکی یک اصطلاح کلی از اشکال مختلف پیچیده قطعات سرامیکی است.از پودر سرامیکی با خلوص بالا ساخته شده است، قطعات سرامیکی با پرس خشک یا فشار ایزواستاتیک سرد تشکیل میشوند و در دمای بالا پخته میشوند و سپس با دقت ماشینکاری میشوند.این به طور گسترده ای در تجهیزات نیمه هادی، ارتباطات نوری، لیزر، تجهیزات پزشکی، نفت، متالورژی، صنایع الکترونیک با ویژگی هایی مانند مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق استفاده می شود.
با ویژگی های مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق، سرامیک می تواند در بسیاری از انواع تجهیزات تولید نیمه هادی با شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کند.
این یک بازوی پایانی / دستی سرامیکی از نوع سینی است که در شرایط خلاء استفاده می شود.
افکت سرامیکی / بازوی هندلینگ در مقایسه با فلزی "مقاومتر در برابر حرارت"، "کمتر انحراف" و "سبک تر" است.
سرامیک پایان افکتور / بازوی دستی بر روی ربات جابجایی ویفر یا "اثر کننده های انتهایی" نصب می شود و برای حمل ویفرهای سیلیکونی به داخل یا خارج از کاست ها یا محفظه های پردازش استفاده می شود.از مزایای استفاده از سرامیک می توان به کاهش انحراف به دلیل استحکام خمشی بالا، مقاومت در برابر دماهای بالا و حذف آلودگی و ذرات فلزی اشاره کرد.
از پودر سرامیکی با خلوص بالا ساخته شده است، میله سرامیکی با پرس خشک یا فشار ایزواستاتیک سرد تشکیل می شود، در دمای بالا پخته می شود، سپس با دقت ماشین کاری می شود.با مزایای بسیاری مانند مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، سختی بالا، چقرمگی بالا و ضریب اصطکاک کم، به طور گسترده ای در تجهیزات پزشکی، ماشین آلات دقیق، لیزر، اندازه گیری و تجهیزات بازرسی استفاده می شود.این می تواند در شرایط اسیدی و قلیایی برای مدت طولانی کار کند و حداکثر دما می تواند تا 1600 درجه سانتیگراد باشد.مواد سرامیکی که ما معمولاً استفاده می کنیم عبارتند از زیرکونیا، 95٪ تا 99.9٪ آلومینا (Al2O3)، نیترید سیلیکون (Si3N4)، نیترید آلومینیوم (AlN) و غیره.
فرآیند بحرانی میدان نیمه هادی باید در اتاق تمیز انجام شود، به ویژه برای آن دسته از دستگاه ها باید در شرایط دمای بالا، خلاء و گاز خورنده استفاده شوند.سرامیک ها می توانند پایداری بالایی را در محیط های پیچیده فیزیکی و شیمیایی حفظ کنند.
قطعات ساختاری سرامیکی یک اصطلاح کلی از اشکال مختلف پیچیده قطعات سرامیکی است.از پودر سرامیکی با خلوص بالا ساخته شده است، قطعات سرامیکی با پرس خشک یا فشار ایزواستاتیک سرد تشکیل میشوند و در دمای بالا پخته میشوند و سپس با دقت ماشینکاری میشوند.این به طور گسترده ای در تجهیزات نیمه هادی، ارتباطات نوری، لیزر، تجهیزات پزشکی، نفت، متالورژی، صنایع الکترونیک استفاده می شود.
قطعات ساختاری سرامیکی یک اصطلاح کلی از اشکال مختلف پیچیده قطعات سرامیکی است.این به طور گسترده ای در تجهیزات نیمه هادی، ارتباطات نوری، لیزر، تجهیزات پزشکی، نفت، متالورژی، صنایع الکترونیک با ویژگی هایی مانند مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر سایش و عایق استفاده می شود.